Beschichtungsanlage für Bildschirmanzeige

Beschichtungsanlage für Bildschirmanzeige
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Northglass vertikale Anlagen zur Glasbeschichtung produzieren hauptsächlich beschichtetes Glas für Displayindustrie mit dem Magnetron-Sputterverfahren, bei dem transparente und leitfähige Folien (TCO, ITO, AZO, etc.) abgeschieden werden.

Technische Informationen
Substratgröße: maßgeschneidert
Substratdicke: maßgeschneidert
Zykluszeit: maßgeschneidert
Enddruck: < 2E-6mbar
Substrattemperatur: Max.350℃
Substratvorbehandlung: LIS (lineare Ionenquelle)
Beschichtungstechnik: Planare DC-Kathode, drehbare Zwischenfrequenz-Kathode

Technische Eigenschaften
1. Niedrigere Feinstaubbelastung
2. geringer Grundflächenbedarf.
3. Prozessgas einstellbar
4. mehrstufiges Heizsystem für eine homogene Temperatur
5. mehr Bequemlichkeit bei Target-Wechsel und Wartung
6. modulares Design
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